水基型环保掩膜版清洗剂

一、产品特点

本水基型环保掩膜版清洗剂由福化微（厦门）电子有限公司和国内著名高校电子专用化学品科研团队共同开发，符合中华人民共和国《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》（GB 38508-2020）标准，符合欧盟的RoHS标准。安全、高效、环保。

光掩膜用于芯片制造，主要用于IC芯片、TFT-LCD、OLED等电子行业，图形通过掩膜版在芯片上多次曝光、显影，得到需要的光刻胶图案。掩膜版在多次曝光中出现光刻胶等脏污，必须完全洗净。

本清洗剂由无机碱、快速渗透剂、低泡渗透剂、脂肪醇聚氧乙烯醚类润湿分散剂、聚羧酸类阻垢分散剂及去离子水组成。无机碱可使光刻胶、亚克力胶分子键断裂、崩解；无机碱的用量不可过高，过高会腐蚀掩膜版，过低则会清洗不净。渗透剂可加速清洗剂渗透到光刻胶、亚克力胶层中，使胶从掩膜版表面加速脱落；渗透剂量不可过高，过高则清洗剂成本增加，过低则胶从掩膜版表面脱落困难。分散剂可将脱落的胶分散成小颗粒状，随组份中的水带走，从而防止残胶反沾污掩膜版和堵塞管道。分散剂过多导致清洗剂体系粘度过大，清洗效果下降，过低则分散效果不好，掩膜版出现反沾污现象，同时大块残胶积累可能会堵塞管道。本清洗剂清洗工艺简单，清洗时间短，在室温下仅需要3-5分钟即可待清洗的掩膜版表面光刻胶及亚克力胶完全去除。本清洗剂体系为碱性介质，与酸性体系比较，清洗设备的材质的选择范围更宽；本清洗剂没有选用常规的有机极性和非极性溶剂，而是通过选用无机碱、分散剂与渗透剂的巧妙设计搭配，不仅去胶效果极好，而且废液的COD值小于200，是一种稳定的、清洗效果好的环保清洗剂。

二、产品组成

无机碱、快速渗透剂和低泡渗透剂、脂肪醇聚氧乙烯醚类润湿分散剂、聚羧酸类阻垢分散剂、去离子水

三、产品功能说明及各组分作用机理说明

 本清洗剂由无机碱、快速渗透剂、低泡渗透剂、脂肪醇聚氧乙烯醚类润湿分散剂、聚羧酸类阻垢分散剂及去离子水组成。无机碱可使光刻胶、亚克力胶分子键断裂、崩解；无机碱的用量不可过高，过高会腐蚀掩膜版，过低则会清洗不净。渗透剂可加速清洗剂渗透到光刻胶、亚克力胶层中，使胶从掩膜版表面加速脱落；渗透剂量不可过高，过高则清洗剂成本增加，过低则胶从掩膜版表面脱落困难。分散剂可将脱落的胶分散成小颗粒状，随组份中的水带走，从而防止残胶反沾污掩膜版和堵塞管道，分散剂过多导致清洗剂体系粘度过大，清洗效果下降，过低则分散效果不好，掩膜版出现反沾污现象，同时大块残胶积累可能会堵塞管道。本清洗剂清洗工艺简单，清洗时间短，在室温下仅需要3-5分钟即可待清洗的掩膜版表面光刻胶及亚克力胶完全去除。本清洗剂体系为碱性介质，与酸性体系比较，清洗设备的材质的选择范围更宽；本清洗剂没有选用常规的有机极性和非极性溶剂，而是通过选用无机碱、分散剂与渗透剂的巧妙设计搭配，不仅去胶效果极好，而且废液的COD值小于200，是一种稳定的、清洗效果好的环保清洗剂。

无机碱组合物可使光刻胶、亚克力胶分子键断裂、崩解；无机碱的用量不可过高，过高会腐蚀掩膜版，过低则会清洗不净。

快速渗透剂T易溶于水，渗透力：≤5秒（1%水溶液，25℃），渗透快速、均匀，具有良好的润湿、渗透、乳化性能。低泡渗透剂SF易溶于水，具有良好的渗透、乳化和净洗性能，且泡沫低。

脂肪醇聚氧乙烯醚类润湿分散剂为非离子表面活性剂，易溶于水，具有良好的乳化、分散性能，该产品与阴离子、非离子表面活性剂复配，可以获得协同效应，显著提高清洗剂性能，从而减少助剂消耗，具有出众的性价比。该产品有优异的性能和品质：粘度低，冻点低，几乎没有凝胶现象；具有超强的润湿乳化能力，以及出众的低温洗涤性能和增溶、分散、润湿性能；生物降解性好，对环境友好，对皮肤的低刺激性。

聚羧酸类阻垢分散剂为水溶性聚合物，是一种新型绿色水处理剂，具有无磷、无毒、无公害和可完全生物降解的特性。对金属离子有极强的螯合能力，具有缓蚀与阻垢双重功效，对碳酸钙、硫酸钙、硫酸钡、磷酸钙等成垢盐类具有良好的阻垢效果，对碳酸钙的阻垢率可达100%，该分散剂同时具有分散作用并可有效防止金属设备的腐蚀，且绿色环保，可避免水体的富营养化和排放二次污染。

去离子水在半导体、电子元器件生产中的重要作用日益突出，去离子水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一。本清洗剂使用的是超纯的半导体级去离子水，符合美国ASTM标准、符合《中国电子行业超纯水国家标准》GB/T1146.1-1997标准。先经过活性炭滤筒去除溶解性有机污染物和残余氯，再经过反渗透（RO）和电去离子化联合处理，然后再经过去离子滤筒去除溶解的无机污染物，电阻系数达到18MΩ.c，达到国家EW-1标准。

四、产品特性

工艺操作方便，清洗时间短，清洗温度低，易于控制，可重复性佳，易于实现大规模生产与应用。

配方产品没有使用化学有机溶剂，无毒无味，热稳定和化学稳定性高，安全长效。

本清洗剂产品符合欧盟RoHS,美国ASTM及中国国家标准，使用无磷配方，清洗废液的排放对环境友好，不会危害环境，易于处理。

五、技术指标

六、使用方法说明：

采用上述配制的清洗剂，在常温(25±5℃)下对待清洗的掩膜版可采用浸泡清洗、超声波清洗或喷淋清洗的方式，时间3-5分钟，而后用去离子水进行进一步清洗，清洗完成后用氮气吹干即得干净的掩膜版。

七、安全防护

根据良好的工业卫生和安全规范进行操作，休息前和工作结束时洗手。避免长时间与皮肤接触，严禁吞食。详细防护指南请根据本产品MSDS（《安全数据说明书》）

八、包装、存储、保质期、运输

包装为20公斤/塑料桶

本品应贮存于阴凉、干燥处，避免阳光直射，在密封容器里贮存期约为一年.

本品按普通化工产品运输，无特殊要求。